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台积电计划在下半年大规模量产 3nm 工艺,2nm 工艺也在谋划中

浏览:出处:未知2022-06-10 11:00

  6 月 10 日消息,据国外媒体报道,5nm 工艺量产已两年的台积电,正在推进 3nm 工艺的量产事宜,这一制程工艺在去年下半年已风险试产,按计划将在今年下半年大规模量产。

  而除了 3nm 制程工艺,台积电也在谋划更先进的 2nm 工艺的量产事宜,这一工艺计划在 2025 年量产。

  外媒的报道显示,台积电在近期已宣布,他们将投资 340 亿美元,推动 2nm 制程工艺的量产,他们已经获得了建厂土地的租赁许可。

  另外,有外媒在报道中表示,台积电的高层,正在同相关方,就建设 2nm 制程工艺工厂所需的土地进行谈判,超过 90% 的业主已经同意,预计最迟在 6 月份能获得建厂所需的全部土地。

  除了土地,台积电 2nm 制程工艺工厂在厂房的建设方面也需要大量的资金,但花费最多的,预计会是更高端的极紫外光刻机和其他的先进设备。

  台积电从第二代的 7nm 工艺开始采用极紫外光刻机,随后量产的 5nm 等先进制程工艺,都需要极紫外光刻机,他们也从阿斯麦采购了大量的极紫外光刻机,而更先进的 2nm 工艺所需要的将是高数值孔径极紫外光刻机。

  阿斯麦已经推出的 TWINSCAN NXE:3400B、TWINSCAN NXE:3400C、TWINSCAN NXE:3600D 极紫外光刻机中,最先进的 TWINSCAN NXE:3600D 最高也只能支持 5nm 和 3nm 工艺的量产。

  而从阿斯麦一季度的财报来看,他们在今年一季度交付 3 台极紫外光刻机,营收 5.94 亿欧元,平均一台的售价接近 2 亿欧元。未来推出的支持 2nm 制程工艺的更先进的极紫外光刻机,售价将会更高。

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